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在半導體制造設備中，波紋管（Bellows） 是一種用于精密密封、柔性傳動和位移補償的關鍵金屬彈性元件。國內外很多企業使用，如日本佳能，ULVAC，AKT等。此類設備對真空密封性要求嚴格，使用壽命達100-500萬次。
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在半導體制造設備中，波紋管（Bellows） 是一種用于精密密封、柔性傳動和位移補償的關鍵金屬彈性元件。國內外很多企業使用，如日本佳能，ULVAC，AKT等。此類設備對真空密封性要求嚴格，使用壽命達100-500萬次。